集成電路制造業(yè)潔凈室設(shè)計(jì)的三大類型
文章出處：本站 人氣：1978
發(fā)表時(shí)間：2023-04-07
集成電路制造對無塵車間的生產(chǎn)環(huán)境有較為嚴(yán)格的要求，所以運(yùn)行成本較高，不同的工藝制程對潔凈室內(nèi)潔凈度的要求也各有不同，例如光刻要求在I級的微環(huán)境下需要達(dá)10級，而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求達(dá)1000級的潔凈度環(huán)境。并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)的特點(diǎn)主要可分為三大類型：
（1）、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)：設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難。
（2）、循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)：小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。
（3）、FFU循環(huán)系統(tǒng)：不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都很好地滿足了半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為凈化行業(yè)最主要的設(shè)計(jì)方案。
（1）、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)：設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難。
（2）、循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)：小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。
（3）、FFU循環(huán)系統(tǒng)：不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都很好地滿足了半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為凈化行業(yè)最主要的設(shè)計(jì)方案。
同類文章排行
- 食品無塵車間風(fēng)管如何設(shè)計(jì)
- 注塑車間機(jī)房冷卻系統(tǒng)節(jié)能改造的計(jì)劃
- 無塵車間的通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)
- 十萬級無塵車間裝修注意事項(xiàng)
- 萬級潔凈車間機(jī)房如何節(jié)能？
- 潔凈廠房的潔凈度及分級
- 食品廠凈化車間溫濕度控制系統(tǒng)的故障可能有哪些？
- 如何降低無塵車間機(jī)房運(yùn)營成本？
- 機(jī)房節(jié)能改造需要注意哪些方面？
- 調(diào)整百級潔凈室送風(fēng)口風(fēng)速的方法有哪些？
- 在東莞如選擇合適的裝修無塵車間公司
- 潔凈廠房的通風(fēng)設(shè)備應(yīng)該如何布局？
- 無塵車間工程裝修設(shè)計(jì)要注意哪些
- 什么是凈化車間?為什么要做凈化車間?
- 潔凈車間裝修工程施工過程中，如何進(jìn)行有效的進(jìn)度控制？
最新凈化資訊
- 無塵車間的通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)
- 十萬級無塵車間裝修注意事項(xiàng)
- 萬級潔凈車間機(jī)房如何節(jié)能？
- 潔凈廠房的潔凈度及分級
- 食品廠凈化車間溫濕度控制系統(tǒng)的故障可能有哪些？
- 如何降低無塵車間機(jī)房運(yùn)營成本？
- 機(jī)房節(jié)能改造需要注意哪些方面？
- 調(diào)整百級潔凈室送風(fēng)口風(fēng)速的方法有哪些？
- 影響無塵車間裝修價(jià)格的因素還有哪些？
- 潔凈廠房設(shè)計(jì)要點(diǎn)及裝修施工
- 潔凈廠房的設(shè)計(jì)與施工
- 千級無塵車間溫濕度傳感器的校準(zhǔn)方法有哪些？
- 如何降低無塵車間裝修成本？
- 潔凈車間的四個(gè)級別
- 凈化車間是干什么的
- 在凈化車間的工程中如何選擇使用適合的傳遞窗呢？
- 富士康上班是不是無塵車間？
- 無塵車間裝修施工措施
- 無塵車間裝修要符合哪些要求?需要注意什么?
- 潔凈車間日常如何驗(yàn)證？
